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中圖儀器國產(chǎn)3d共聚焦顯微鏡賦能B端企業(yè)降本增效，在半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、微納材料等工業(yè)領(lǐng)域，測量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)。憑借自主研發(fā)突破、精準(zhǔn)適配工業(yè)需求、高性價(jià)比與本土化服務(wù)優(yōu)勢，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)“精準(zhǔn)測量+成本可控+高效運(yùn)維”的三重價(jià)值。

中圖儀器0.005nm粗糙度RMS重復(fù)性白光干涉儀形貌重復(fù)性達(dá)0.1nm，臺(tái)階測量準(zhǔn)確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。基于白光干涉技術(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)。

中圖儀器國產(chǎn)掃描電鏡生產(chǎn)廠家CEM3000系列桌面式掃描電鏡，在提供相近核心性能（如4nm分辨率、40 ~ 200,000×放大倍數(shù)）的前提下，相比同級(jí)進(jìn)口品牌，以更少的預(yù)算獲得核心性能相當(dāng)?shù)捏w驗(yàn)。

中圖儀器CEM3000系列抗振防磁技術(shù)掃描電鏡整機(jī)經(jīng)過抗干擾結(jié)構(gòu)優(yōu)化，將抗振防磁設(shè)計(jì)與緊湊機(jī)身深度融合，無需額外加裝外置減振設(shè)備，即可直接適配車間、現(xiàn)場、手套箱等常規(guī)電鏡難以耐受的復(fù)雜場景，實(shí)現(xiàn)開箱即用的便捷體驗(yàn)。

臺(tái)式掃描電鏡操作簡便、成本較低，適用于材料的常規(guī)分析與質(zhì)量控制。在材料生產(chǎn)企業(yè)中，易用高效掃描電鏡用于快速檢測原材料的顆粒形貌、尺寸分布，以及產(chǎn)品表面的缺陷篩查等，為生產(chǎn)過程提供及時(shí)反饋。

VT6000系列3D輪廓尺寸共聚焦顯微鏡主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量，具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；以及2)二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度、角度、半徑等尺寸測量。