一、產(chǎn)品簡介

SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W3光學(xué)3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二、產(chǎn)品功能

1. 樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；

2. 自動(dòng)測量功能：自動(dòng)單區(qū)域測量功能、自動(dòng)多區(qū)域測量功能、自動(dòng)拼接測量功能；

3. 編程測量功能：可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動(dòng)測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；

4. 數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5. 數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度依據(jù)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

6. 批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

三、半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)產(chǎn)品功能

1. 同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量，并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動(dòng)切換以適配不同尺寸晶圓；

2. 具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動(dòng)測量功能，能夠一鍵測量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值；

3. 具備劃片工藝中激光鐳射開槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測量功能，能夠一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測量與分析；

4. 具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍，實(shí)現(xiàn)高精度測量；

四、應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

五、性能特色

1、復(fù)合型掃描算法

結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的復(fù)合型掃描重建算法，能夠適配從超

光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品；

2、雙重防撞保護(hù)

1）軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位，不再下移且伴有報(bào)警聲；

2）Z向防撞傳感器，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面，鏡頭即回縮，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，不再下移；

3、地面振動(dòng)&聲波振動(dòng)隔振防護(hù)

氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾，正常工作；

4、環(huán)境噪聲評價(jià)

提供環(huán)境噪聲評價(jià)模塊，能夠定量檢測出當(dāng)前環(huán)境噪聲對儀器的干擾，對儀器的調(diào)試和使用提供數(shù)據(jù)依據(jù)；

5、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

六、技術(shù)指標(biāo)

1.技術(shù)規(guī)格表

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；

臺階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測量4.7µm臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

若非實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，準(zhǔn)確度和重復(fù)性指標(biāo)需根據(jù)環(huán)境噪聲等級相應(yīng)下調(diào)。

2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機(jī)：1000×900×1500㎜；

3．儀器主機(jī)重量：小于500Kg；

4．使用環(huán)境：無強(qiáng)磁場，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 2℃/60分鐘

相對濕度：5%-95%RH，無凝露

環(huán)境振動(dòng)：VC-C或更優(yōu)

隔振氣源：0.8Mpa穩(wěn)壓清潔氣源，除油、除水，氣管直徑6㎜（可無）

七、產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1. SuperView W3主機(jī)：龍門架構(gòu)造、懸臂式測頭；

2. 影像系統(tǒng)：1024×1024

3. 光學(xué)Zoom：0.5×

4. 干涉物鏡：10×

5. XY位移載物臺：自動(dòng)位移臺

6. DELL品牌計(jì)算機(jī)

7. 4.7μm  Z向校準(zhǔn)臺階塊

8. 操縱手柄

9. 中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件

10. 自動(dòng)多區(qū)域測量、自動(dòng)拼接測量功能模塊

11. 電氣控制柜

12. 儀器配件箱

13. 產(chǎn)品使用說明書

14. 產(chǎn)品合格證、保修卡

可選配置：

1. 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×

2. 光學(xué)zoom：0.75 ×、1×；

3. 同步兼容式真空吸盤，兼容12 inch及以下所有規(guī)格晶圓樣品；

八、交貨與驗(yàn)收

1、交貨

1）交貨期：合同生效后40個(gè)工作日內(nèi)。

2）交貨地點(diǎn)：免費(fèi)快遞到需方的交貨地點(diǎn)。

2、安裝與培訓(xùn)

1）我公司負(fù)責(zé)在用戶現(xiàn)場對設(shè)備行進(jìn)安裝和調(diào)試；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)對買方技術(shù)人員進(jìn)行理論、實(shí)際操作及維修等的培訓(xùn)，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作，能熟練使用設(shè)備進(jìn)行檢定工作，保證設(shè)備正常運(yùn)行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)。

3、驗(yàn)收

1）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：以合同及技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)。

2）驗(yàn)收項(xiàng)目：核對該設(shè)備的主機(jī)及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說明書的要求；核對該設(shè)備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求。

3）在合同驗(yàn)收和合同執(zhí)行過程中，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項(xiàng)和短缺，如設(shè)備附件、技術(shù)資料、使用手冊、用工具，備品備件、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)將漏項(xiàng)和短缺補(bǔ)齊。

4）驗(yàn)收合格后，雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收報(bào)告》。

5）產(chǎn)品外觀以實(shí)物為準(zhǔn)。

九、售后服務(wù)

1、設(shè)備質(zhì)保期

1）驗(yàn)收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收報(bào)告》后12個(gè)月內(nèi)；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延。

2、售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實(shí)行“三包"，用戶所購設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費(fèi)更換同種品牌不低于原價(jià)位、規(guī)格、型號的部件。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時(shí)，所換零件按成本價(jià)收取。軟件隨國家規(guī)程變更免費(fèi)升級，硬件優(yōu)惠升級。

3）排故響應(yīng)時(shí)間：我司在接到報(bào)障信息后，2小時(shí)內(nèi)回應(yīng)，我司通過電話、郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時(shí)內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。